一种矩形恒温平面射频线圈装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池片生产设备，即一种矩形恒温平面射频线圈装置，包括反应室和两端加高频电源并产生高频磁场的线圈，所述反应室分为小室和置于小室后端并与小室连通的真空室，所述小室的前端安装用以将线圈产生的高频磁场引入真空室内的耦合窗，小室的前方设有与耦合窗平行的固定板，所述线圈在平面内绕制成矩形螺旋状并固定在固定板上。本实用新型专利技术采用圆管绕制成矩形平面螺旋线圈，在矩形线圈两端加高频电源，矩形恒温平面线圈可保证线圈表面温度一致，使产生的等离子体密度一致，从而保证工艺重复性；采用矩形恒温平面线圈可使真空室体采用金属材料制造，克服了石英腔体被刻穿的问题。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种矩形恒温平面射频线圈装置，包括反应室和两端加高频电源并产生高频磁场的线圈（3），其特征是，所述反应室分为小室（12）和置于小室（12）后端并与小室（12）连通的真空室（11），所述小室（12）的前端安装用以将线圈（3）产生的高频磁场引入真空室（11）内的耦合窗（1），小室（12）的前方设有与耦合窗（1）平行的固定板（4），所述线圈（3）在平面内绕制成矩形螺旋状并固定在固定板（4）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈特超，谢利华，李健志，林伯奇，毛朝斌，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：实用新型
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