一种IGBT芯片制造技术

技术编号:9508329 阅读:70 留言:0更新日期:2013-12-26 22:55
本实用新型专利技术提供了一种IGBT芯片,包括衬底、位于衬底正面之上的铜金属化结构,所述铜金属化结构包括栅极电极和发射极电极,还包括,位于所述栅极电极下方的衬底内的P+掺杂区。该P+掺杂区可以保护芯片在反向耐压时的栅极,即防止在反向耐压时栅极下方的半导体材料被耗尽,而使电场穿透至多晶硅层,提高芯片了的耐压稳定性。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种IGBT芯片,包括衬底、位于衬底正面之上的铜金属化结构,所述铜金属化结构包括栅极电极和发射极电极,其特征在于,还包括,位于所述栅极电极下方的衬底内的P+掺杂区。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘国友覃荣震黄建伟
申请(专利权)人:株洲南车时代电气股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1