一种微电子机械系统的电容式气压传感器技术方案

本实用新型专利技术公开了一种微电子机械系统的电容式气压传感器，包括衬底、键合层、电容下极板、电容上极板、绝缘层、加热电阻条、上电极电引出、下电极电引出和两个加热电阻条电引出，衬底的底面设有真空腔，电容下极板固定连接在键合层的上表面，且电容下极板位于真空腔中，位于真空腔顶面正上方的衬底为电容上极板，绝缘层固定连接在衬底的上表面，加热电阻条固定连接在绝缘层的上表面，两个加热电阻条电引出固定连接在衬底的上表面，且每个加热电阻条电引出和加热电阻条的一端连接；上电极电引出和下电极电引出分别位于衬底上。该气压传感器解决了测量线性度与灵敏度相互制约的技术难点，可以适用于多种不同量程气压的测量与采集。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微电子机械系统的电容式气压传感器，其特征在于，该气压传感器包括衬底（8）、键合层（9）、电容下极板（2）、电容上极板（1）、绝缘层（3）、加热电阻条（4）、上电极电引出（5）、下电极电引出（6）和两个加热电阻条电引出（7）；衬底（8）固定连接在键合层（9）的上表面，衬底（8）的底面设有真空腔（10），电容下极板（2）固定连接在键合层（9）的上表面，且电容下极板（2）位于真空腔（10）中，电容上极板（1）为位于真空腔（10）顶面正上方的衬底（8），电容上极板（1）为可动感压薄膜，电容上极板（1）与电容下极板（2）相对，绝缘层（3）固定连接在衬底（8）的上表面，且绝缘层（3）覆盖了电容上极板（1），加热电阻条（4）固定连接在绝缘层（3）的上表面，且加热电阻条（4）位于电容上极板（1）的正上方，加热电阻条（4）的两个加热电阻条电引出（7）固定连接在衬底（8）的上表面，且每个加热电阻条电引出（7）和加热电阻条（4）的一端连接；上电极电引出（5）和下电极电引出（6）分别位于衬底（8）上，且上电极电引出（5）与电容上极板（1）连接，下电极电引出（6）与电容下极板（2）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：聂萌，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：