【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种极紫外阿秒脉冲脉宽度量装置，其特征在于：包括载波包络相位锁定的疏周期超强近红外飞秒脉冲、极紫外单阿秒脉冲、分束镜、第一宽带全反镜、过滤单元、中空分束镜、光程控制单元、第二宽带全反镜、复合聚焦透镜、目标靶及光电子能谱探测分析系统；所述分束镜设置在载波包络相位锁定的疏周期超强近红外飞秒脉冲的后方，其分出的一路红外飞秒脉冲进入光程控制单元后通过第二全反镜与另一路脉冲在中空分束镜汇合，其分出的另一路红外飞秒脉冲经过第一宽带全反镜后进入极紫外单阿秒脉冲产生及近红外光过滤单元，过滤后的极紫外单阿秒脉冲通过中空分束镜与分出的另一路脉冲汇合，并通过复合聚焦透镜进入目标靶及探测分析系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王超，赵卫，田进寿，王兴，白永林，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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