【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统，包括机械手，其特征在于：还包括伺服电机、伺服电机驱动器、伺服驱动模块和PLC控制器，所述PLC控制器连接所述伺服驱动模块，所述伺服驱动模块还与所述伺服电机驱动器相连，所述伺服电机驱动器与所述伺服电机相连，所述伺服电机与所述机械手相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，王国瑞，于书瀚，张基龙，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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