用于产生带状束流的热阴极离子源系统技术方案

一种用于产生带状束流的热阴极离子源系统，包括一放电室、由一热阴极与一对阴极构成的阴极单元、引出系统。该引出系统具有一设有引出缝的引出区域，引出缝的数量为两条以上，该些引出缝在引出区域内相互平行。该热阴极离子源系统不但能够显著地提高所引出的离子束的束流强度和离子束的分布均匀性，还能够更好地保证所引出离子束的光学特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炯，洪俊华，钱锋，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：
国别省市：