蒸发源制造技术

本发明专利技术公开的一种应用于OLED显示技术领域的蒸发源主要包括蒸发舟和阻挡装置，阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架或阻挡盖组和阻挡支架，阻挡盖或阻挡盖组通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径。采用该蒸发源进行OLED基板蒸镀时，当处于基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖盖在处于蒸镀状态的蒸发舟上，被蒸发或升华的蒸镀材料全部凝聚在阻挡盖上，回收工艺非常简便；对于蒸镀材料包括主有机材料和掺杂材料的情况，由于蒸镀时，主有机材料和掺杂有机材料分别位于不同的蒸发舟中，对应不同的阻挡盖，只要回收时进行分别回收，则后续只需进行简单的分离提纯即可分别再次投入使用。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开的一种应用于OLED显示
的蒸发源主要包括蒸发舟和阻挡装置，阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架或阻挡盖组和阻挡支架，阻挡盖或阻挡盖组通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径。采用该蒸发源进行OLED基板蒸镀时，当处于基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖盖在处于蒸镀状态的蒸发舟上，被蒸发或升华的蒸镀材料全部凝聚在阻挡盖上，回收工艺非常简便；对于蒸镀材料包括主有机材料和掺杂材料的情况，由于蒸镀时，主有机材料和掺杂有机材料分别位于不同的蒸发舟中，对应不同的阻挡盖，只要回收时进行分别回收，则后续只需进行简单的分离提纯即可分别再次投入使用。【专利说明】蒸发源
本专利技术属于OLED显示
，具体涉及一种用于OLED器件蒸镀的蒸发源。
技术介绍
OLED蒸镀技术是指将蒸镀材料和被蒸镀基板放置于真空环境下，加热使蒸镀材料蒸发或升华，飞行溅射到被蒸镀基板表面并凝聚成膜的工艺，可以是有机材料单独蒸镀也可以是主有机材料和掺杂材料共同蒸镀。在蒸镀量产时，蒸镀材料是连续蒸镀的，即在基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，蒸镀材料也是被不断的蒸发或升华的，浪费十分严重。众所周知，蒸镀材料是非常昂贵的生产材料，有些发光材料高达RMB4000/lg，因此，回收蒸镀材料是量产公司的主要工作之一。为了防止蒸镀腔被污染，蒸镀腔内表面均设有防粘板，而在非蒸镀工艺时被蒸发或升华的蒸镀材料会凝聚在该防粘板上，目前常用的回收方法即是从该防粘板进行蒸镀材料的回收，这种方法较好的防止了蒸镀材料的浪费，但其不足在于:首先，防粘板的面积一般庞大，从庞大的防粘板上回收蒸镀材料的工艺非常复杂且工作量巨大，特别当发光腔体由主有机材料和掺杂材料共同完成蒸镀时，从防粘板收集到的蒸镀材料为混合物，回收后还需要做进一步的分离提纯，不但增加了工艺的复杂性而且成本不菲。同时，由于连续蒸镀，通常在非常短的时间内防粘板上就会累计过厚的蒸镀材料而需要更换清洗，频繁的停机更换也扰乱了正常的量产秩序、降低了生产效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述问题，提供一种回收工艺简单、回收率高且回收蒸镀材料纯度高的蒸发源。 为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案:一种蒸发源，其特征在于:包括蒸发舟和阻挡装置，所述阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架，所述阻挡盖通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径。进一步地，所述阻挡盖的形状为一端封闭的空心圆柱体。进一步地，所述阻挡盖的耐热温度不低于500°C。进一步地，所述阻挡盖的表面经喷砂处理。进一步地，所述阻挡盖与蒸发舟之间的距离为0.5~1cm。进一步地，所述阻挡装置包括2个共线的阻挡盖。进一步地，所述阻挡装置包括η个分别位于正η边形的η个顶点上的阻挡盖，η > 3。进一步地，所述阻挡装置包括若干组阻挡盖，每组阻挡盖均包括若干个阻挡盖，所述若干个阻挡盖分别对应蒸镀材料中主有机材料所在的蒸发舟和蒸镀材料中掺杂材料所在的蒸发舟。进一步地，所述蒸发源还包括传动系统、可控编程器、主控电脑、控制线路和通讯线路，阻挡装置通过阻挡支架固定连接在传动系统上，传动系统通过控制线路与可控编程器相连，可控编程器通过通讯线路与主控电脑相连。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是:(I)本专利技术的蒸发源通过在蒸发源的正上方设置阻挡盖，蒸镀时，当处于OLED基板传输、OLED基板对位、腔体等待OLED基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖盖在处于蒸镀状态的蒸发舟上，被蒸发的有机材料全部凝聚在阻挡盖上，回收工艺非常简便；对于蒸镀材料包括主有机材料和掺杂材料的情况，由于蒸镀时,主有机材料和掺杂有机材料分别位于不同的蒸发舟中，对应不同的阻挡盖，只要回收时进行分别回收，则后续只需进行简单的分离提纯即可分别再次投入使用；(2)本专利技术的蒸发源设置了若干个阻挡盖或阻挡盖组，当一个阻挡盖或阻挡盖组上凝聚了过厚蒸镀材料时，无需停机更换，仅需将另一个阻挡盖或者阻挡盖组旋转至蒸发舟的正上方即可；(3)本专利技术的蒸发源可以实现蒸镀材料较充分的回收利用，回收工艺简单、回收效率高，显著的降低OLED器件的生产成本，而且采用本专利技术的新型蒸发源可以通过控制阻挡盖或阻挡盖组的个数延长防粘板的更换时间，提高生产效率；(4)本专利技术的蒸发源可以配合传动系统、可控编程器、主控电脑等使用，实现自动化运行。【专利附图】【附图说明】图1为实施例中的蒸发源的结构示意图；【具体实施方式】为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。如图1所示，本实施例中的蒸发源包括阻挡装置1，阻挡装置I包括3个位于正三角形3个顶点上、大小、形状完全相同的阻挡盖11、12、13和阻挡支架14，阻挡盖11通过阻挡支架14安装于蒸发舟2的正上方0.5~Icm处，阻挡盖11、12或13为一端封闭的空心圆柱体且其直径大于蒸发舟2横截面的直径。蒸镀时，当处于基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖11盖在处于蒸镀状态的蒸发舟2的正上方，收集被蒸发的有机材料；当开始蒸镀基板时，移开阻挡盖11，露出蒸发舟2，此时，有机材料即飞行溅射到基板表面并凝聚成膜；当阻挡盖11上凝聚的有机材料过厚时，通过旋转阻挡支架14将阻挡盖12旋转120°，正好转到蒸发舟2的正上方，即可通过阻挡盖12继续进行有机材料的收集，同样地，当阻挡盖12上凝聚的有机材料过厚时，将阻挡盖13旋转120°至蒸发舟2正上方即可，通过3个阻挡盖11、12、13的设计，延长了连续蒸镀的时间，与现有技术中从防粘板上回收有机材料的技术相比，明显提高了生产效率。同时，因为阻挡盖11、12、13每次只对应一个蒸发舟，因此本实施例中每个阻挡盖11、12或13上都只收集到蒸发舟2的有机材料，纯度较高，后续仅需进行简单的分离提纯即可再次投入使用，显著降低OLED器件的蒸镀成本。这里的阻挡盖的个数主要是由蒸发舟的个数及设定的防粘板的更换时间决定，本实施例中蒸发舟的个数为I个，即蒸发舟2，因此，实际参与阻挡的阻挡盖仅为一个，为阻挡盖11、12或13，在本实施例的情况下，阻挡盖也可以为共线的两个或者位于正η变形η个顶点上的η个，η > 3，所设置的阻挡盖的个数越多，防粘板的更换时间越长；当蒸镀材料同时包括主有机材料和掺杂材料时，则对主有机材料所在的蒸发舟设计一个对应的阻挡盖，对掺杂材料所在的蒸发舟设计一个对应的阻挡盖，所述两个阻挡盖组成一组，并按照上述单一蒸镀材料阻挡盖的排列方式设置若干组阻挡盖即可对蒸镀材料进行分类回收。不同蒸镀材料的蒸发或升华温度不同，为了适应各种蒸镀材料的要求，阻挡盖11、12或13的耐热温度均不低于500°C并经喷砂处理，且可以根据蒸发舟2中蒸镀材料的种类进行相应设计。为了防止凝结在阻挡盖11、12或13上的蒸镀材料掉落，造成蒸发舟内部蒸镀材料的污染，本实施例中的阻挡盖11、12和13均经过喷砂处理。为了实现蒸镀的自动化运行，本实施例中的蒸发源还包括传动系统3、可控编程器4、主控电脑5、控制线路6和通讯线路7，阻挡装置I本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源，其特征在于：包括蒸发舟和阻挡装置，所述阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架，所述阻挡盖通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵芳，林成勇，魏锋，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：