具有对称弧形的切割工作台及夹具结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，用以解决公知夹具与切割工作台呈圆形或矩形状，无法有效利用设备与增加产量，及加工设备数量需求多，设备成本高的问题；所述切割工作台的主要工作空间至少一组相对边所对称的周边向外突出一弧状，主要工作空间该边增加一弧形工作空间，夹具的透空孔对称外周边设有配合的向外突出弧状，对称边增加有弧形透部；所述切割工作台的主要工作空间与弧形工作空间分别配合夹具的透空孔与弧形透部穿过，夹具受切割工作台的固定装置所限制而定位。本实用新型专利技术能有效利用设备与增加产量及降低设备成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术涉及一种切割工作台，尤其涉及一种具有对称弧形的切割工作 台及夹具结构。
技术介绍
一般的半导体等ic晶圆组件，其使用的设置与设计越来越小，以便于使用于各式的电子产品上，令电子产品设计也能大幅缩小，从而方便携带，但半导体等I c晶圆组件在加工时，为了制程方便与提高产量，半导体等I c晶圆组件多个排列一次生产，待生产完后的一片多个的半成品半导体再经切割方式，将其一一切割开，令多个半成品的半导体成为独立的成品半导体 使用，而以往的半导体组件的切割，都利用于一滑座上设置一切割工作台用 以固定一夹具，再以夹具利用胶带将晶圆固定，使晶圆能够以切割工作台上 设置的切割刀具一一切割分离成独立小块，滑座可带动切割工作台产生位移， 而切割工作台呈现圆形或矩形状，并于周边设置有固定装置，该固定装置要 固定会更换的夹具使用，故通常使用可快速拆换的真空吸嘴设计，利用真空 吸嘴的吸力使夹具能够被吸附固定，夹具配合切割工作台的圆形或矩形状， 中央具有一透空孔，该透空孔利用胶带由下而上黏附，晶圆再放置于该透空 孔的胶带上，使夹具与晶圆随切割工作台移动，让晶圆能够依序移动被切割 刀具切割开。然而，这种夹具与切割工作台呈现圆形或矩形状，其中圆形在矩形工件进行多片贴附时，无法有效利用空间；而矩形则在圆形或不规则工件进行贴 附时，无法有效利用空间；因此，无法有效利用设备与增加产量，及存在加 工设备数量多与设备成本高的问题，不符合经济效益。
技术实现思路
本技术的目的提供一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，川 以解决的问题是公知夹具与切割工作台呈圆形或矩形状，为圆形在矩形工件 进行多片贴附时，无法有效利用空间，而矩形则是在圆形或不规则工件进行 贴附时，无法有效利用空间，因此无法有效利用设备与增加产量，及加工设 备数量需求多，设备成本高。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案本技术提供的具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，所述切割工 作台上固定有所述夹具，而切割工作台上对应设置有一切割刀具，其中切割 工作台为基本的四边形，中央具有一概为四边形的主要工作空间，且切割工 作台于外周边分布设置有固定装置，夹具配合切割工作台的形状设置，中央 具有-一概为四边形的透空孔；所述切割工作台的主要工作空间至少一组相对边所对称的周边向外突出 一弧状，主要工作空间该边增加一弧形工作空间，夹具的透空孔对称外周边 设有配合的向外突出弧状，对称边增加有弧形透部；所述切割工作台的主要工作空间与弧形工作空间分别配合夹具的透空孔 与弧形透部穿过，夹具受切割工作台的固定装置所限制而定位。本技术通过将切割工作台的概为四边形主要工作空间至少一对称边 增加设置弧形工作空间，而配合的夹具的透空孔也配合设置弧形透部，借此， 能更有效的提供圆形与矩形的多个晶圆，具有扩大工作空间的效果，使用的 共享性佳，不局限于圆形或矩形的晶圆，有效利用设备与增加产量及降低设 备成本。附图说明图1为本技术具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的立体分解凰 图2为本技术具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的立体半组合图3为本技术具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的立体组合图4为本技术具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的夹具与切割 工作台提供矩形晶圆排列的平面图5为本技术具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的夹具与切割 工作台提供圆形晶圆排列的平面图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术方案，并使本技术 的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图和实施例对本实 用新型作进一步详细的说明。请参阅图1所示，本技术具有对称弧形的切割工作台及夹具结构的 较佳实施例，本实施例适用于切割晶圆10，其包括一设置在滑座上的切割工 作台20， 一夹具30固定于切割工作台20上，夹具30提供晶圆10以专用的 胶带40黏合固定，而滑座与切割工作台20上并对应设置有一切割刀具，其 中，滑座可控制产生定向的适度移动，滑座上并供切割工作台20的承载，切 割工作台20呈现基本的四边形，中央具有一概为四边形的主要工作空间21 突出，且所对称的外周边向外突出一弧状，使四周各边沿着长边分别增加一 弧形工作空间22，而切割工作台20在弧形工作空间22外周边并分布设置有 固定装置23，该固定装置23用于固定夹具30，通常为真空吸嘴的设计，利 用真空吸嘴的吸力使夹具30能够被吸附固定，而切割工作台20的弧形工作 空间22外周边其它位置至少一处还设置有定位柱24，夹具30配合切割工作 台20的形状设置，中央具有一概为四边形的透空孔31，且透空孔31所对称 的外周边为向外突出弧状，使四周各边沿着长边分别增加一弧形透部32，另 夹具30的外周缘并设置有对应切割工作台20的定位柱24的定位槽部33，胶带40 —面具有黏附性配合于夹具30下方。本实施例使用时，如图2所示，胶带40先由下而上黏合于夹具30下方， 使夹具30的整个透空孔31连同弧形透部32都被胶带40所布满，晶圆10则 由夹具30的透空孔31与弧形透部32放入，并落于胶带40上黏固，如图3 所示，夹具30以胶带40连同晶圆10放置于切割工作台20上，使晶圆10能 够位在切割工作台20的主要工作空间21与弧形工作空间22，且切割工作台 20的固定装置23会将夹具30所吸固，而夹具30的定位槽部33并对应切割 工作台20的定位柱24，晶圆10利用胶带40的黏固与张力作用，可稳稳的固 定于切割工作台20顶面，而夹具30并会因此被吸附下沉，以此即可使用切 割刀具进行晶圆10的切割，且因夹具30吸附下沉，因此仅有晶圆10位于切 割工作台20最顶部，可令夹具30不会被割损而重复使用。如图4所示，该提供矩形形状的晶圆IO排列切割使用，以切割工作台20 的主要工作空间21与弧形工作空间22及夹具30的透空孔31与弧形透部32 配合，能提供若干矩形形状的晶圆IO排列。如图5所示，该提供圆形形状的晶圆10排列切割使用，以切割工作台20 的主要工作空间21与弧形工作空间22及夹具30的透空孔31与弧形透部32 配合，能扩大工作空间21的空间以提供一个以上的圆形形状晶圆10设置。其切割工作台20的弧形工作空间22与配合的夹具30弧形透部32，该至 少其中二边为一组方式对称，可仅有二边设置，或四边二组对称设置，也可 其中一对称边为一尺寸的弧形变化，另一对称边为其它尺寸的弧形变化。本技术具有如下有益效果本技术通过将切割工作台20的概为四边形的主要工作空间21对称 周边增加设置弧形工作空间22，而配合的夹具30概为四边形的透空孔31与 弧形透部32配合，不仅能提供多个的晶圆10的放置，也能扩大工作空间21 的四边中央空间，以提供一个以上的圆形形状晶圆IO设置，使用共享性佳， 不局限于圆形或矩形的晶圆10，且能够在有效的空间内提供多个的任意形状晶圆10排列，可有效利用设备与增加产量，不需要过多的加工设备，相对可 以降低设备成本。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护 范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技 术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之 内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有对称弧形的切割工作台及夹具结构，所述切割工作台上固定有所述夹具，而切割工作台上对应设置有一切割刀具，其中切割工作台为基本的四边形，中央具有一概为四边形的主要工作空间，且切割工作台于外周边分布设置有固定装置，夹具配合切割工作台的形状设置，中央具有一概为四边形的透空孔，其特征在于，　所述切割工作台的主要工作空间至少一组相对边所对称的周边向外突出一弧状，主要工作空间该边增加一弧形工作空间，夹具的透空孔对称外周边设有配合的向外突出弧状，对称边增加有弧形透部；　所述切割工作台的主要工作空间与弧形工作空间分别配合夹具的透空孔与弧形透部穿过，夹具受切割工作台的固定装置所限制而定位。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李建文，
申请(专利权)人：七忆科技国际股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]