新型尺蠖式仿生爬行压电精密驱动平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新型尺蠖式仿生爬行压电精密驱动平台，可用于微小型行走机器人、超精密加工、微机电系统等重要科学工程领域。包括动子单元、定子单元和工作台，动子单元包括柔性铰链、精密钳位压电叠堆、精密驱动压电叠堆等。柔性铰链采用数控铣-线切割-热处理-精密磨削一体化加工无需装配；并且柔性铰链钳位、驱动部分均采用“椭圆形”桥式位移放大机构，端部亦有压电叠堆的预紧机构。通过控制动子中钳位、驱动压电叠堆的控制时序，可以实现类似“尺蠖”爬行运动。定子单元包括导轨、基座，导轨与基座固连。工作台的输出端开有连接用螺纹孔，与动子通过螺钉连接。具有结构紧凑、行程大、工作稳定可靠、成本低、见效快、效益高等优点。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种新型尺蠖式仿生爬行压电精密驱动平台，其特征在于：包括动子单元、定子单元及工作台（6），所述动子单元包括柔性铰链（5）、精密钳位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（4、8）、精密驱动压电叠堆（9）、预紧螺钉（10）及连接预紧螺钉（7），所述定子单元包括基座（1）及导轨（3）两部分；所述导轨（3）通过沉头螺钉（2）与基座（1）固定连接，钳位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（4、8）分别置于柔性铰链（5）的两端，并分别通过预紧螺钉（10）预紧；驱动压电叠堆（9）通过锁紧螺钉（7）与柔性铰链（5）连接，所述柔性铰链（5）的上部与工作台（6）连接，钳位爪与导轨（3）过渡配合；通过控制钳位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（4、8）、驱动压电叠堆（9）的控制时序，实现尺蠖爬行运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宏伟，邵明坤，李建平，杨倚寒，程虹丙，张霖，刘宏达，佟达，高景，董晓龙，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：实用新型
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