取晶机制造技术

技术编号:9450158 阅读:129 留言:0更新日期:2013-12-13 00:37
本实用新型专利技术涉及集成电路芯片处理技术领域,公开了一种取晶机,包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置,所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动,所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动,所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方,所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方,所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置,所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。本实用新型专利技术的垂直驱动装置和旋转驱动装置布置在同一直线上,节省空间,旋转驱动装置通过中空伺服电机对取晶臂提供旋转动力,与垂直驱动装置互不相涉。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种取晶机,包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置,所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动,所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动,其特征在于:所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方,所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方,所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置,所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱玉萍岑刚
申请(专利权)人:嘉兴景焱智能装备技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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