半导体器件及其制造方法以及便携式电话机技术

技术编号:9438324 阅读:100 留言:0更新日期:2013-12-12 18:09
提供在以例如便携式电话机为代表的移动通信机器中,在与功率放大器相同的半导体衬底上形成发送滤波器、接收滤波器时,尽可能减小来自功率放大器的热对发送滤波器、接收滤波器的影响,可以维持发送滤波器、接收滤波器的滤波器特性(电气特性)的技术。在包含形成LDMOSFET的区域(AR1)和形成薄膜压电体波谐振器(BAW)的区域(AR2)的半导体衬底(1S)的整个区域中,在钝化膜(PAS)上设置高热传导率膜(HCF)。由此,主要由LDMOSFET产生的热,利用在半导体衬底(1S)的整个面上形成的高热传导率膜(HCF)高效地向各个方向散热。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:浅井健吾礒部敦
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社
类型:
国别省市:

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