具有埋设型电极的传感器及其制造方法技术

本发明专利技术公开一种具有埋设型电极的传感器，该传感器可减少制造费用并有广泛的应用前景。所述传感器包括：感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，其中，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术公开一种具有埋设型电极的传感器，该传感器可减少制造费用并有广泛的应用前景。所述传感器包括：感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，其中，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。【专利说明】
本专利技术涉及一种，具体而言，涉及一种可减少制造费用并能够广泛应用的。
技术介绍
针对用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器的结构及制造方法的研发持续至今。这种传感器大部分是在基板上形成一对感测电极图案，并形成将感应物质涂覆于一对感测电极图案上的感测膜，从而构成传感器。这种传感器在有气体或光接触于感测膜时发生感测膜的电导率(或者电阻值)的变化，通过测定电导率的变化而实现感测。这种传感器大部分通过利用了硅基板的薄膜形成工序等半导体工序制造，或者通过利用了氧化招基板等的厚I旲形成工序制造，因此有制造成本闻且工序复杂的缺点，并有因感测电极的短路、断路或脱落而出现的不良情况较多的问题。
技术实现思路
技术问题因此，本专利技术的目的在于提供一种能够克服上述现有技术中的问题的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的另一目的在于提供一种制造成本低廉的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的又一目的在于提供一种制造工序简单的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的又一目的在于提供一种能够用少量的成本形成微细图案的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的又一目的在于提供一种可实现精确感测的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的又一目的在于提供一种提高了可靠性的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的又一目的在于提供一种可自由调节感测电极的长度、宽度或尺寸等的具有埋设型电极的传感器。本专利技术的又一目的在于提供一种制造所述传感器的方法。技术方案为了达到上述目的，本专利技术提供一种具有埋设型电极的传感器，包括:感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，其中，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。优选地，在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成一个以上的狭缝。优选地，设置有所述电极端子的侧面和所述感测面被上下切割或研磨而达到平難iF.0而且，优选地，所述第一导电层和第二导电层既可以相互重叠而层叠，也可以使埋设的端部分开而层叠为不重叠。优选地，可通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而使一部分导电层相重叠而其余导电层不重叠。优选地，所述电极端子可按各导电层分别电分离为多个子电极端子而构成多个独立的传感器模块，且所述子电极端子上可以电连接不同个数的导电层。优选地，所述电极端子向所述感测面的相反侧面延伸，而所述第一导电层和第二导电层分别在所述电极端子的延伸部分电连接于所述电极端子。为了达到上述目的，本专利技术提供一种具有埋设型电极的传感器的制造方法，包括如下步骤:通过夹设分离层而层叠第一导电层和第二导电层，从而形成感测堆；形成第一电极端子，该第一电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的一侧面的所述第一导电层，并形成第二电极端子，该第二电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的另一侧面的所述第二导电层；使除了所述感测堆的一侧面和另一侧面之外的其余侧面中的至少一个侧面上露出所述第一导电层和第二导电层，从而成为感测面，并在所述感测面上涂覆感应物质而形成传感器。优选地，所述感测堆的一侧面、另一侧面和所述感测面可在上下方向上被切割或研磨。优选地，所述第一导电层和第二导电层既可以相互重叠而层叠，也可以使埋设的端部分开而没有重叠。优选地，可通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而可以层叠为使所述第一导电层及第二导电层中的一部分相重叠而其余的不重叠。优选地，还包括在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成狭缝的步骤。优选地，可通过在所述感测面上形成凹槽或狭缝而使所述第一导电层及第二导电层均露出。优选地，对露出的所述第一导电层和第二导电层的剖面进行镀覆而实现金属生长，并将所述感应物质涂覆于经所述金属生长的所述第一导电层和第二导电层各自的端部之间并进行平整化。为了达到上述目的，本专利技术提供一种具有埋设型电极的传感器，包括:绝缘感测堆，在内部埋设第一导电层和第二导电层而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层及第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，而且，通过在除了设置有所述电极端子的侧面之外的至少一个侧面上露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。为了达到上述目的，本专利技术提供一种具有埋设型电极的传感器，包括:感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层及第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，而且，在除了设置有所述电极端子的侧面之外的至少一个侧面上，形成一个以上具有预定宽度的凹槽，从而形成感测面，且在所述凹槽的底面上或者在所述凹槽的底面和侧壁上露出所述第一导电层和第二导电层。有益效果根据上述结构，容易调节导电层的宽度和长度，并容易调节分离层的厚度，其结果容易调节由导电层和电极端子构成的感测电极的宽度、长度及其间距。并且，由于具有构成感测电极的导电层埋设于感测堆内部的结构，因此不会发生电极的短路或断路，从而可以提高传感器的可靠性和感测灵敏度。而且，通过在感测面上形成狭缝，从而能够简单而精确地增减感测面。并且，由于可自由调节导电层的个数，因此可以调节感测灵敏度，且不用像现有技术似地通过并联或串联多个传感器而提高感测灵敏度，而是可以利用一个感测堆实现。而且，由于采用陶瓷工艺，因此制造工序简单而制造成本降低。并且，根据本专利技术的传感器可被广泛应用为用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器，并可通过将电极端子贴装于电路基板并将感测面利用为接收信号的接收面而将传感器使用为天线，而且还可以通过将某一电极端子作为接地端子并利用被绝缘分离层所绝缘分离的导电层而将传感器使用为放电用避雷器。【专利附图】【附图说明】图1表不根据本专利技术第一实施例的传感器。图2为沿着图1的A-A剖切的图，表示在感测面上涂覆感应物质的一例。图3为用于说明制造根据一实施例的传感器的方法的制造工序图。图4表示制造的感测堆。图5表示根据本专利技术另一实施例的传感器。图6表不根据本专利技术又一实施例的传感器。图7表不根据本专利技术又一实施例的传感器。图8表不根据本专利技术又一实施例的传感器。图9表不根据本专利技术又一实施例的传感器。【具体实施方式】以下参照附图对本专利技术的优选实施例进行详细说明，其目的仅仅是为本专利技术所属
中具有普通知识的人员彻底理解本专利技术提供方便，而没有其他任何目的。第一实施例图1表不根据本专利技术第一实施例的传感器100。传感器100包括:感测堆(Sensing stack),通过在导电层120和导电层122之间夹设分离层Iio并层叠埋设而构成；电极端子130、132，分别电连接于导电层120、122而设置于感测堆102的侧面，而且，在除了设置有电极端子130、132的侧面以外的至少一个侧面上有导电层120、122露出而形成感测面104。导电层120只在一边侧面上露出而电连接于电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：金善基，金星列，郑铉学，金正锡，
申请(专利权)人：卓英社有限公司，大范科技有限公司，
类型：
国别省市：