一种异质结板式PECVD载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种异质结板式PECVD载板，包括载板基体，所述载板基体上设有若干镂空槽，所述镂空槽四面内壁为斜坡面，所述镂空槽内设有与镂空槽配合的压框。该异质结板式PECVD载板，在硅片镀膜的过程中可以杜绝电离的气体跑到硅片背面去而形成反掺以避免出现漏电流，从而增加短路电流，形成阻值很大的并阻，提高电池片的效率；应用金属压线固定硅片上面的压框可以减少碎片率，从而降低成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种异质结板式PECVD载板，包括载板基体(1)，其特征在于，所述载板基体(1)上设有若干镂空槽(2)，所述镂空槽(2)四面内壁(21)为斜坡面，所述镂空槽(2)内设有与镂空槽(2)配合的压框(3)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张东升，赵会娟，
申请(专利权)人：国电光伏有限公司，
类型：实用新型
国别省市：