【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基座系统，包括基座内腔、水路、气路、水阀以及气阀，其特征在于，所述水路以及气路分别单独连接所述基座内腔，所述水阀设置于所述水路上，所述气阀设置于所述气路上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：叶维坚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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