【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种转速精密在线测量系统,包括光学干涉测量系统模块、数据采集模块和数据解析和结果表示模块,其特征在于:所述光学干涉测量系统模块包括准直用激光光源、测量用扫描激光光源、波分耦合器、光纤环形器、光波分光光纤、与所述数据采集模块相连的检测器和设置在转盘上的反射镜,所述波分耦合器的一端分别与所述准直用激光光源和所述检测器相连,所述波分耦合器的另一端与所述光波分光光纤相连,所述光纤环形器的一端分别与所述测量用扫描激光光源和所述检测器相连,所述光纤环形器的另一端与所述光波分光光纤相连,所述光波分光光纤的两个出光口的前方均设有透镜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:雷枫,李少博,文孝明,
申请(专利权)人:北京普瑞微纳科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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