氧化物薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板及其制造方法技术

本发明专利技术提供了氧化物薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及其制造方法。本发明专利技术的氧化物薄膜晶体管包括：栅极，所述栅极形成于基板上；栅绝缘层，所述栅绝缘层形成于栅极上；有源层，所述有源层形成于栅极上方的栅绝缘层上；蚀刻停止层图案，所述蚀刻停止层图案形成于有源层上；源极对准元件和漏极对准元件，所述源极对准元件和漏极对准元件形成于蚀刻停止层图案上并且彼此分开；和源极及漏极，所述源极与源极对准元件和有源层接触，所述漏极与漏极对准元件和有源层接触。本发明专利技术的阵列基板用于显示装置中，并具有本发明专利技术的氧化物薄膜晶体管。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氧化物薄膜晶体管，所述氧化物薄膜晶体管包括：栅极，所述栅极形成于基板上；栅绝缘层，所述栅绝缘层形成于所述栅极上；有源层，所述有源层形成于所述栅极上方的所述栅绝缘层上；蚀刻停止层图案，所述蚀刻停止层图案形成于所述有源层上；源极对准元件和漏极对准元件，所述源极对准元件和漏极对准元件形成于所述蚀刻停止层图案上，其中所述源极对准元件与所述漏极对准元件分开；源极，所述源极与所述源极对准元件和所述有源层接触；和漏极，所述漏极与所述漏极对准元件和所述有源层接触。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：柳尚希，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：