【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板处理用的药液生成方法，其特征在于，向含有四甲基氢氧化铵的含四甲基氢氧化铵药液供给含有氧气的含氧气体，由此使上述含氧气体溶解于上述含四甲基氢氧化铵药液中。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：三浦淳靖，石川秀和，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：
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