【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微波离子源，包括波导、放电室、励磁线圈、真空室、引出系统，其中波导通过微波窗同放电室的一端相连，放电室周围缠绕励磁线圈，另一端的离子出口与真空室相通，在离子束引出的通道上设置引出系统，引出系统将离子从放电室引出形成束流，其特征在于，所述的波导内设置一块中分板，中分板与微波窗紧密贴合，中分板内部通冷却水进行强制冷却。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：崔保群，蒋渭生，唐兵，马瑞刚，马鹰俊，陈立华，黄青华，
申请(专利权)人：中国原子能科学研究院，
类型：发明
国别省市：
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