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抗蚀剂膜清洗组合物制造技术

技术编号:9405588 阅读:105 留言:0更新日期:2013-12-05 05:56
本发明专利技术提供了一种用于脱除残留的抗蚀剂和脱膜剂清洁组合物,其包括有机胺化合物,有机溶剂,防腐剂和水。本发明专利技术提供的清洁组合物,其清洁效果优异,不易产生腐蚀金属膜层,并且能够替代以往的醇类化合物,从而解决引火性,存储性及环境方面的缺陷。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于脱除残留的抗蚀剂和脱膜剂清洁组合物,其特征在于:包括有机胺化合物,有机溶剂,防腐剂和水。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨桂望
申请(专利权)人:杨桂望
类型:发明
国别省市:

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