分光模块制造技术

技术编号:9404774 阅读:162 留言:0更新日期:2013-12-05 05:39
分光模块(1)中,由于本体部(2)为板状,因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且,由于本体部(2)为板状,因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即,通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆,以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状,并切割该玻璃晶圆,能够制造多个分光模块(1)。如此,能够容易地大量生产分光模块(1)。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种分光模块,其特征在于,具备:使从一个面入射的光透过的本体部和透镜部;设在所述透镜部的曲面上的、将透过所述本体部及所述透镜部的光分光并反射至所述一个面侧的衍射层及反射层;以及设在所述一个面侧的、检测被所述衍射层及所述反射层分光并反射的光的光检测元件,所述衍射层沿所述透镜部的曲面形成,所述反射层在所述衍射层的表面上形成。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:柴山胜己H·泰希曼能野隆文铃木智史D·希勒U·施塔克
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1