微型角速度传感器制造技术

本发明专利技术提供一种微型角速度传感器，包括位于第一基板上表面的检测电极，悬于所述第一基板上的驱动质量块、平动质量块、转动质量块、第一梳齿、第二梳齿、检测梳齿、弹性梁，以及固定于所述第一基板上的锚点，还包括用于电连接的多个焊盘及引线。本发明专利技术可用以检测一个方向或相互垂直的两个方向的外部角速度，也可同时检测相互正交的三个方向的外部角速度，其中，三个方向为垂直于所述微型角速度传感器所在平面的方向、及位于所述微型角速度传感器所在平面内且相互垂直的两个方向。本发明专利技术采用两个转动质量块分别检测所述传感器所在平面内相互垂直的两个方向的外部角速度，有效减少检测信号之间的耦合，降低相互干扰，从而提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型角速度传感器，其特征在于，至少包括：第一基板，包括位于其上表面的检测电极；第二基板，位于所述第一基板上表面，包括：两个驱动质量块，悬于第一基板上，可沿第一方向运动且对称分布在垂直于第一方向的第二方向两侧；两个平动质量块，可沿第一方向或第二方向运动且对称分布在第二方向两侧，设置在与其对应的驱动质量块中且悬于第一基板上，用以检测垂直于所述微型角速度传感器所在平面的方向外部角速度；两个转动质量块，与所述第一基板上的检测电极相对应，对称分布在第二方向两侧，设置在与其对应的驱动质量块中且悬于第一基板上，同时，所述二转动质量块各自以第三方向或第四方向为自身的对称轴，各该转动质量块在所述传感器所在平面内以第五方向为中心轴振动或绕自身的对称轴振动，其中，第一方向、第二方向、第三方向、第四方向均位于所述传感器所在平面，第五方向垂直于所述微型角速度传感器所在平面，第三方向和第四方向对称分布在第二方向两侧，且第三方向、第四方向、第五方向彼此正交，第一方向、第二方向、第五方向彼此正交；所述二转动质量块用以分别检测位于所述微型角速度传感器所在平面内且相互垂直的两个方向的外部角速度；两组第一梳齿，对称分布在第二方向两侧，并位于其对应的驱动质量块的外侧，均悬于第一基板之上；四组第二梳齿，对称分布在第一方向和第二方向两侧，并位于其对应的驱动质量块之间，均悬于第一基板之上；八组检测梳齿，对称分布在第一方向和第二方向两侧，并设置在与其对应的平动质量块中，均悬于第一基板之上；所述的两个驱动质量块之间、驱动质量块和平动质量块之间、驱动质量块和转动质量块之间以悬于第一基板之上的弹性梁进行连接，固定在第一基板上的锚点与各该转动质量块、驱动质量块、及平动质量块之间通过悬于第一基板之上的弹性梁、第一梳齿、第二梳齿、及检测梳齿进行结合。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：焦继伟，王敏昌，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
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