【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基片传输装置，其特征在于，包括磁轨（3），悬浮于磁轨（3）上方的承载基片用的基片载体（2），位于基片载体（2）至少一侧的由驱动装置驱动转动的传动轮（1），所述传动轮（1）与基片载体（2）侧壁之间具有间隙；周向装有磁铁（101）的所述传动轮（1）驱动至少一侧面上装有磁铁（202）的所述基片载体（2）沿磁轨（3）的长度方向移动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：佘鹏程，孙雪平，易文杰，贾京英，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：
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