【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种液体排出头用基板,其包括:基体;设置在所述基体之上的发热电阻层;设置在所述基体之上并且与所述发热电阻层接触的一对配线;和覆盖所述发热电阻层和所述配线的保护层,其中所述保护层包含由式SixCyNz表示的材料,其中基于原子百分比,x+y+z=100,30≤x≤59,y≥5和z≥15。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:安田建,初井琢也,樱井诚,永持创一朗,竹内创太,石田让,柴田和昭,
申请(专利权)人:佳能株式会社,
类型:发明
国别省市:
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