液体排出头用基板和液体排出头制造技术

技术编号:9400080 阅读:115 留言:0更新日期:2013-12-05 02:57
本发明专利技术涉及液体排出头用基板和液体排出头。抑制由于保护层的溶解引起的液体排出头的可靠性的降低。液体排出头用基板包括基体、设置在基体之上的发热电阻层、设置在基体之上的一对配线以及覆盖发热电阻层和配线的保护层。所述保护层包含由式SixCyNz表示的材料,其中基于原子百分比,x+y+z=100,30≤x≤59,y≥5和z≥15。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种液体排出头用基板,其包括:基体;设置在所述基体之上的发热电阻层;设置在所述基体之上并且与所述发热电阻层接触的一对配线;和覆盖所述发热电阻层和所述配线的保护层,其中所述保护层包含由式SixCyNz表示的材料,其中基于原子百分比,x+y+z=100,30≤x≤59,y≥5和z≥15。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:安田建初井琢也樱井诚永持创一朗竹内创太石田让柴田和昭
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:

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