基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统技术方案

一种基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统，实现纳米加工与制造中运动部件的精确定位。包括具有纳米级表面微结构的参考模型、测量探头、反馈电路、压电陶瓷管、压电陶瓷管Z向电压处理模块和结果显示模块。其特征是系统工作时，扫描探针对参考模型进行扫描，探头利用光杠杆原理检测到探针振幅的变化后，通过反馈电路发出反馈信号，使承载参考模型的压电陶瓷管的Z向电压随之变化，以保证探针振幅的恒定，不断变化的压电陶瓷管Z向电压反映了参考模型的形貌，利用压电陶瓷管Z向电压处理模块对其进行处理，并将测量结果通过结果显示模块显示出来，由于利用到了内插技术，可得到更高分辨率和精度的测量结果，可广泛应用于纳米级、甚至亚纳米级的测量及定位。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统，其特征是：系统包括测量探头(7)、反馈电路(8)、三维微位移平台驱动器(9)、三维微位移平台(10)、三维微位移平台Z向电压处理模块(11)、结果显示模块(12)和具有纳米级表面微结构的参考模型(13)；所述具有纳米级表面微结构的参考模型(13)固定在三维微位移平台(10)上，所述反馈电路(8)一端与测量探头(7)连接，另一端与三维微位移平台驱动器(9)相连，所述三维微位移平台驱动器(9)与三维微位移平台(10)相连接，所述三维微位移平台Z向电压处理模块(11)一端接在三维微位移平台驱动器(9)的前端，另一端与结果显示模块(12)相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：皮建国，胡贞，王作斌，宋正勋，翁占坤，刘洋，姚先连，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：实用新型
国别省市：