【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于真空室腔体的靶材更换机构,其特征在于:所述更换机构包括机架(1),阴极(2)与机架(1)活动连接,阴极(2)底部与机架(1)之间通过多个伸缩缸Ⅰ(3)连接,伸缩缸Ⅰ(3)与控制部件(4)连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:薛辉,昌江,
申请(专利权)人:芜湖真空科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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