喷砂机装置制造方法及图纸

技术编号:9388181 阅读:126 留言:0更新日期:2013-11-28 04:32
本实用新型专利技术涉及硅片喷砂处理装置,具体涉及一种喷砂机装置。它包括传送带机构、喷砂系统和喷嘴装置,喷砂系统连接喷嘴装置,喷嘴装置位于传送带机构上方,喷嘴装置包括两个喷嘴,两个喷嘴垂直于传送带安装。本实用新型专利技术的优点是设计简单,操作方便,提高了生产效率,硅片喷砂的均一性、喷砂厚度精度控制得到了保证和提高。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
喷砂机装置,它包括传送带机构、喷砂系统和喷嘴装置,喷砂系统连接喷嘴装置,喷嘴装置位于传送带机构上方,其特征是喷嘴装置包括两个喷嘴,两个喷嘴垂直于传送带安装。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈春香杨怀
申请(专利权)人:南通皋鑫电子股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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