【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种研磨垫，用于研磨工件，该研磨垫的特征在于，具有：具有研磨面的弹性垫；支承所述弹性垫的变形自如的基层；以及将所述弹性垫与所述基层接合的粘接层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：石井游，伊藤贤也，高桥正三，铃木美加，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：实用新型
国别省市：
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