一种半导体晶粒分选装置制造方法及图纸

技术编号:9387307 阅读:138 留言:0更新日期:2013-11-28 04:12
本实用新型专利技术涉及一种半导体晶粒分选装置,至少包括晶粒供料台、晶粒分Bin台和取料单元,若干个分料盒置于所述晶粒分Bin台之上,黏性蓝膜或白膜披覆于分料盒之上,分Bin后的晶粒固定在黏性蓝膜或白膜之上,分Bin后的晶粒排列方式为圆形或者椭圆形或者椭灯笼形。通过改变Bin的排列方式,增加每个Bin所能容纳的晶粒数目,减少分选过程中换Bin动作,提高分选效率,减少蓝膜或白膜消耗量。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体晶粒分选装置,至少包括晶粒供料台、晶粒分Bin台和取料单元,若干个分料盒置于所述晶粒分Bin台之上,黏性蓝膜或白膜披覆于分料盒之上,分Bin后的晶粒固定在黏性蓝膜或白膜之上,其特征在于:所述分Bin后的晶粒排列形状为圆形或者椭圆形或者椭灯笼形。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林宗民马志邦
申请(专利权)人:天津三安光电有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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