【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种适用于原子力显微镜激光测力系统的测力灵敏度标定装置，其特征在于，它包括探针支架（8）、标定机构、位移探测器（13）和激光发生器（14），探针支架（8）架设在标定机构上，探针支架（8）包括探针（10）和悬臂梁（11），探针（10）装设在悬臂梁（11）的中心位置，激光发生器（14）用于向探针（10）发射激光，位移探测器（13）用于接收探针（10）反射的激光，所述标定机构包括基座（12）、一号柔性杠杆（2）、二号柔性杠杆（7）、一号挡块（1）、二号挡块（9）、一号柔性铰链（3）、二号柔性铰链（4）、三号柔性铰链（5）和四号柔性铰链（6），基座（12）以上的部分为圆筒结构，二号柔性杠杆（7）为圆筒形，该二号柔性杠杆（7）位于基座（12）正上方，且通过三号柔性铰链（5）和四号柔性铰链（6）与基座（12）固定连接，三号柔性铰链（5）和四号柔性铰链（6）镜像对称设置，一号柔性杠杆（2）为圆筒形，该一号柔性杠杆（2）位于二号柔性杠杆（7）正上方，且通过一号柔性铰链（3）和二号柔性铰链（4）与二号柔性杠杆（7）固定连接，一号柔性铰链（3）和二号柔性铰链（4）镜像对称设置，一号柔性铰链（3）的中心与二...
【技术特征摘要】
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