【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基于结构共振测量气体悬浮颗粒浓度的MEMS传感器，包括一腔体，该腔体内形成有中空腔室，其特征在于：还包括过滤结构、气压产生结构、气体采样结构以及振动结构；所述过滤结构、气压产生结构相对设置在腔室的两端并与其相通，所述气体采样结构、振动结构相对设置在腔室的内部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，郭梅寒，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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