一种调整装置制造方法及图纸

技术编号:9369163 阅读:77 留言:0更新日期:2013-11-21 23:25
本实用新型专利技术公开一种调整装置,包括第一调整件和第二调整件,所述第一调整件包括与承载件上用于承载被清洗件的承载表面接触的基体和设置于所述基体上并与第一固定件接触的凸块;第二调整件包括本体、设置于所述本体上的第一基准块和设置于所述本体上并与所述第一基准块相对设置的第二基准块;其中,第一固定件和第二固定件设置于所述第一基准块和第二基准块之间,所述第一基准块与第二基准块之间的距离为可调节的。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于基板清洗的调整装置,其特征在于,所述调整装置包括:?第一调整件,包括基体和设置于所述基体上的凸块;?第二调整件,包括本体,设置于所述本体上的第一基准块和置于所述本体上并与所述第一基准块相对的第二基准块,其中,所述第一基准块与第二基准块之间的距离可以调节。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张贺殷楷贾元成刘志骞王雷
申请(专利权)人:北京京东方光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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