用于执行辅助配方及批处理配方的方法及设备组成比例

本发明专利技术公开用于执行辅助配方及批处理配方的范例方法及设备。所公开的一种范例方法涉及执行第一配方以及在完成所述第一配方之前接收辅助配方。所述范例方法也涉及确定所述第一配方是否已经达到所述辅助配方可以被执行时的输入点。所述辅助配方接着被执行，以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种在过程控制系统中用于执行辅助配方及批处理配方的装置，包括：执行第一配方的模块；在第一配方的执行完成之前识别辅助配方的模块；在第一配方的执行完成之前确定所述第一配方是否已经达到所述辅助配方可以被执行时的输入点的模块；以及在第一配方的执行完成之前执行所述辅助配方以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点的模块。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小詹姆斯·亨利·莫尔，内森·威廉·培特斯，威廉·乔治·厄文，图沙尔·南达，
申请(专利权)人：费舍柔斯芒特系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：