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一种基于级联马赫-曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法技术

技术编号:9356182 阅读:256 留言:0更新日期:2013-11-20 23:24
一种基于级联马赫-曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法,包括:平面光波光路PLC芯片和第一光纤阵列和第二光纤阵列,所述平面光波光路PLC芯片包括:硅衬底,在硅衬底上设有二氧化硅缓冲层,在二氧化硅缓冲层上设有波导,在波导上设有覆盖层,所述波导包括输入级Y分支、第一长度固定臂和第二长度固定臂、第一开放臂、第二开放臂、第三开放臂、和第四开放臂、第一级3dB耦合器、第二级3dB耦合器和输出级3dB耦合器。制备方法为:在硅衬底上制备缓冲层、波导,得到PLC芯片部分,切片研磨后和光纤阵列耦合,最后将相应的光纤连接。本发明专利技术可以实现可重构、相位精细可调、平顶型滤波、低非线性输出。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于级联马赫?曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法,其特征在于,包括:平面光波光路PLC芯片和第一光纤阵列(1)和第二光纤阵列(2),所述平面光波光路PLC芯片包括:硅衬底(7),在硅衬底(7)上设有二氧化硅缓冲层(8),在二氧化硅缓冲层(8)上设有波导(10),在波导(10)上设有覆盖层(11),所述波导(10)包括输入级Y分支(3)、第一长度固定臂(302)和第二长度固定臂(502)、第一开放臂(301)、第二开放臂(401)、第三开放臂(501)、和第四开放臂(601)、第一级3dB耦合器(4)和第二级3dB耦合器(6)及输出级3dB耦合器(5),所述第一长度固定臂(302)的两端分别与输入级Y分支(3)的下输出端、第二级3dB耦合器(4)的上输入端连接,输入级Y分支(3)的上输出端与第一开放臂(301)的一端连接,第一级3dB耦合器(4)的下输入端与第二开放臂(401)的一端连接,第三开放臂(501)一端与输出级3dB耦合器(5)的上输入端连接,第二固定臂(502)的两端分别与输出级3dB耦合器(5)的下输入端、第二级3dB耦合器(6)的上输出端连接,第二级3dB耦合器(6)的下输出端与第四开放臂(601)的一端连接;第一光纤阵列(1)上的第一通道(101)与输入级Y分支(3)的输入端口连接,第一光纤阵列(1)上的第三通道(103)的两端分别与第二开放臂(401)的另一端、第二光纤阵列(2)上的第一通道(201)的一端连接,第一光纤阵列(1)上的第四通道(104)的一端与输出级3dB耦合器(5)的上输出端口连接,第一光纤阵列(1)上的第五通道(105)的一端与输出级3dB耦合器(5)的下输出端口连接,第一光纤阵列(1)上的第六通道(106)的两端分别与第四开放臂(601)的另一端、第二光纤阵列(2)上的第四通道(204)的一端连接;第二光纤阵列(2)上的第二通道(202)的两端分别与第二光纤阵列(2)上的第六通道(206)的一端、第一级3dB耦合器(4)的上输出端口连接,第二光纤阵列(2)上的第三通道(203)的两端分别与第二光纤阵列(2)上的第五通道(205)的一端、第一级3dB耦合器(4)的下输出端口连接,第二光纤阵列(2)上的第一通道(201)的另一端与第一开放臂(301)的另一端连接,第二光纤阵列(2)上的第四通道(204)的另一端与第三开放臂(501)的另一端连接,第二光纤阵列(2)上的第五通道(205)的另一端与第二级3dB耦合器(6)的上输入端口连接,第二光纤阵列(2)上的第六通道(206)的另一端与第二级3dB耦合器(6)的下输入端口连接。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙小菡蒋卫锋戚健庭
申请(专利权)人:东南大学
类型:发明
国别省市:

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