【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种埋线式对位对准机构，其特征在于：包括一固定平台、多个设置固定平台上的XYθ装置，所述XYθ装置各具有一驱动单元与量测驱动单元一位移量的多个位置感测器，且所述XYθ装置通过缆线电性连接于一输出端，以及设置于各XYθ装置转动单元上的移动平台，以及通过缆线与输出端连接的控制器，?所述固定平台设有多个对应XYθ装置的贯穿孔，而固定平台的底面横设对应前述贯穿孔的埋线槽，将XYθ装置的驱动单元及位置感测器所连结的各缆线穿入贯穿孔并埋设于埋线槽内并连接于驱动单元输出端及位置感测器输出端，其后，再以一底盖封闭埋线槽并用接合件锁合于固定平台，达到XYθ装置的缆线收纳于固定平台底面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱毓英，李浩玮，宋柏苇，林柄宏，邱信杰，
申请(专利权)人：全研科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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