【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于电子加速器束流强度实时监测的装置,其特征在于,包括真空室,位于真空室内的准直器和探头,向所述探头提供高压的高压单元,以及收集所述探头所产生次级电子的束流强度显示系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吾勤之,宣明,郭旗,刘伟鑫,王昆黍,乔文,陈友,徐导进,蔡楠,王海涛,
申请(专利权)人:上海精密计量测试研究所,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。