用于电子加速器束流强度实时监测的装置制造方法及图纸

技术编号:9335908 阅读:114 留言:0更新日期:2013-11-13 14:26
本发明专利技术涉及一种用于电子加速器束流强度实时监测的装置,包括真空室,位于真空室内的探头,向所述探头提供高压的高压单元,以及收集所述探头所产生次级电子的束流强度显示系统。真空室为高能电子与探头的相互作用提供真空环境;探头与高能电子相互作用产生次级电子;高压单元为次级电子的收集提供高压,微电流计和显示系统对探头输出的次级电子束流进行收集,实时显示束流强度。本发明专利技术解决了电子加速器在辐照过程中束流强度变化情况的实时监测问题,对高能电子不会产生阻挡作用,高能电子可以穿过所述用于电子加速器束流强度实时监控的装置。该装置使用方便、可操作性强、稳定性好,对束流强度无损失。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于电子加速器束流强度实时监测的装置,其特征在于,包括真空室,位于真空室内的准直器和探头,向所述探头提供高压的高压单元,以及收集所述探头所产生次级电子的束流强度显示系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吾勤之宣明郭旗刘伟鑫王昆黍乔文陈友徐导进蔡楠王海涛
申请(专利权)人:上海精密计量测试研究所
类型:发明
国别省市:

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