检查机制造技术

本发明专利技术提供一种检查机，稳定地检查有机材料的蒸镀状态。该检查机具备：物镜（4），以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部（12），射出对上述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部（8），经由上述物镜拍摄被上述紫外光照射状态下的上述有机材料的像。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种检查机，其特征在于，具备：物镜，以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部，射出对所述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部，经由所述物镜拍摄被所述紫外光照射状态下的所述有机材料的像。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：滨砂智训，
申请(专利权)人：新东超精密有限公司，
类型：发明
国别省市：