【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体薄膜生长设备，其包括：载气装置、液态源装置、生长室、旁路以及真空系统，这些部件之间通过管道按一定的逻辑关系连结成一个整体；且每条管道可独立的打开或关闭。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴昉，刘斌，郑柳，董林，刘胜北，闫果果，孙国胜，曾一平，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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