传感器电路制造技术

本实用新型专利技术涉及传感器电路。一种传感器电路，包括微机电系统（MEMS）陀螺仪传感器和集成电路（IC）。该MEMS陀螺仪传感器包括第一传感电容器和第二传感电容器。该IC包括开关电路和电容测量电路，该开关电路配置成将所述第一传感电容器与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二传感电容器电耦合到所述IC的第二输入端；该电容测量电路配置成在第一电信号施加到该被解耦的第一传感电容器期间测量所述MEMS陀螺仪传感器的所述第二传感电容器的电容。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种传感器电路，包括：?微机电系统MEMS陀螺仪传感器，包括第一传感电容器和第二传感电容器；以及?集成电路IC，包括：?开关电路，配置成将所述第一传感电容器与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二传感电容器电耦合到所述IC的第二输入端；以及?电容测量电路，配置成在第一电信号施加到该被解耦的第一传感电容器期间测量所述MEMS陀螺仪传感器的所述第二传感电容器的电容。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约恩·奥普里斯，贾斯廷·森，
申请(专利权)人：快捷半导体苏州有限公司，快捷半导体公司，
类型：实用新型
国别省市：