测量AR减反膜厚度和折射率的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所述每个光线接收器通过光路或光纤连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过数据线连接计算装置，本实用新型专利技术的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快，测量准确的特点。与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括至少两个光源(1)和一个计算装置(2)，以及对应每个光源(1)的光学系统(3)、光线接收器(4)和光谱分析装置(5)，所述每个光源(1)的光线通过对应的光学系统(2)以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜(6)膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器(4)接收，所述每个光线接收器(4)通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置(5)，且每个光谱分析装置(5)均通过数据线最终连接计算装置(2)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱峥嵘，埃德加·吉尼奥，赵连芳，
申请(专利权)人：昆山胜泽光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：