一种用于扩散炉炉门的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于扩散炉炉门的固定装置，包括固定本体，固定本体上对称开有安装孔位于两安装孔之间，于固定本体的上部还开有螺钉安装孔。利用本实用新型专利技术可直接连接顶针及炉门，同时本实用新型专利技术安装于桨传动头上，大大节省了移动桨的空间，实现了移动桨占有空间的最小化，还使移动桨能伸入炉内的长度增加，同时也增加硅片的放置数量，提高了硅片的生产效率以及掺杂均匀性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于扩散炉炉门的固定装置，其特征在于：包括固定本体（203），固定本体（203）上对称开有安装孔（201）位于两安装孔（201）之间，于固定本体（203）的上部还开有螺钉安装孔（202）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵之俊，刘明，赵峰，
申请(专利权)人：康可电子无锡有限公司，
类型：实用新型
国别省市：