一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺技术方案

技术编号:9310323 阅读:274 留言:0更新日期:2013-11-06 12:49
一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺,是在原生产工艺的基础上,将送入氢气压缩机的气体,压缩到1.8MPaG后,进入压缩机排气罐,从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到-29℃—-31℃后,进入HCL吸收塔;HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL,来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压至1.8MPaG后,一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外,作为回收的氯硅烷,另一部分釜液首先经液体交换器换热后,进入液体急冷器,用R22冷却到-46℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液;塔顶氢气经气体交换器换热后,直接送至还原车间;对HCL吸收塔系统中操作及工艺参数的修改,除去了氢气中大量的HCL和氯硅烷,保证了回收氢气的纯度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺,是将还原车间经冷却至200℃的还原炉出口气体,经过第一步尾气冷却器,第二步氢气急冷器,第三步乙二醇冷冻水换热器和第四步尾气氟利昂冷却器的冷却,除去气体中的氯硅烷,氯硅烷用氯硅烷进料泵送入HCL精馏塔;冷却后的氢气经过尾气热交换器后,进入压缩机吸入口缓冲罐,压缩机吸入口缓冲罐出来的气体进入氢气压缩机,经氢气压缩机压缩到1.5MPaG后,进入压缩机排气罐,从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到-22℃左右后,进入HCL吸收塔;HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL,来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压后,一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外,作为回收的氯硅烷,另一部分釜液首先经液体交换器换热后,进入液体急冷器,用R22冷却到?40℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液;塔顶氢气经气体交换器换热后,送至吸附塔,经净化成合格氢气后送至还原车间,其特征在于:压缩机吸入口缓冲罐出来的气体进入氢气压缩机,经氢气压缩机压缩到1.8MPaG后,进入压缩机排气罐,从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到-29℃—-31℃后,进入HCL吸收塔;HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL,来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压到1.8MPaG后,一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外,作为回收的氯硅烷,另一部分釜液首先经液体交换器换热后,进入液体急冷器,用R22冷却到?46℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液;塔顶氢气经气体交换器换热后,直接送至还原车间进行 多晶硅的生产。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:潘玺燕军崔建平
申请(专利权)人:内蒙古同远企业管理咨询有限责任公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1