一种燃烧室结构制造技术

技术编号:9303982 阅读:89 留言:0更新日期:2013-10-31 04:11
一种燃烧室结构,包括尾气管道、杯形体以及排风管道,所述杯形体的底部可拆卸的套设于所述尾气管道的尾端,所述排风管道的一端插设于所述杯形体的杯腔内,所述排风管道与所述杯形体的内壁以及底部均具有间隙,且所述排风管道经所述杯腔与所述尾气管道连通。本实用新型专利技术结构简单、制造方便,在LPCVD系统反应室内未完全反应的剩余气体可由氮气稀释后,在燃烧室内与空气进行二次反应,二次反应生成的粉尘沉淀留在燃烧室内,而构成燃烧室的杯形体可拆卸后进行清理,既保证了排风管道不被堵塞,同时也避免了剩余气体积累而导致自爆,安全性高。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种燃烧室结构,其特征在于,包括尾气管道、杯形体以及排风管道,所述杯形体的底部可拆卸的套设于所述尾气管道的尾端,所述排风管道的一端插设于所述杯形体的杯腔内,所述排风管道与所述杯形体的内壁以及底部均具有间隙,且所述排风管道经所述杯腔与所述尾气管道连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:丁波陈瀚侯金松程国军
申请(专利权)人:上海微世半导体有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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