用于多列传送平坦物体的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及传送平坦物体的领域。本实用新型专利技术尤其涉及在湿法化学的连续式设备中传送例如为硅晶圆的平坦物体的领域。根据本实用新型专利技术的用于多列传送平坦物体的装置用于在多个彼此平行设置的列中同时地传送衬底，其包括用于供给衬底的多列的供给区域、用于传送衬底的多列的传送区域以及用于提取由传送区域供给的衬底的多列的提取区域，其中供给区域的每个列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底的、可竖直移动的设备以及用与对所述衬底进行拆堆的机构，并且提取区域的每个列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底的、可竖直移动的设备以及用于对所述衬底进行堆叠的机构。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
用于多列传送平坦物体的装置，其用于在多个彼此平行设置的列中同时地传送衬底（S），所述用于多列传送平坦物体的装置具有用于供给所述衬底（S）的多列的供给区域（1）、用于传送所述衬底（S）的多列的传送区域（2）、以及用于提取由所述传送区域（2）供给的所述衬底（S）的多列的提取区域（3），其中为了与列一致地传送所述衬底（S），??所述供给区域（1）的每一列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底（S）的、能够竖直移动的设备（S1，S2，……）以及用于对所述衬底（S）进行拆堆的机构，并且??所述提取区域（3）的每一列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底（S）的、能够竖直移动的设备（S1’；S2’；……）以及用于对所述衬底（S）进行堆叠的机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约尔格·弗兰茨克，马蒂亚斯·尼泽，
申请(专利权)人：睿纳有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：