功率器件及其制造方法技术

技术编号:9296703 阅读:153 留言:0更新日期:2013-10-31 01:00
本发明专利技术提供了功率器件及其制造方法,所述功率器件具有基于半导体衬底的处于集电极区与漂移区之间的以FS-IGBT结构形式的场阻止(FS)层,其中所述FS层的厚度以及所述集电极区的杂质密度易于调整,且FS层具有改进的功能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种功率器件,包括:第一传导类型的半导体衬底;第一传导类型场阻止(FS)层,设置在所述半导体衬底上,所述FS层具有杂质密度比所述半导体衬底的杂质密度更高的区段;第一传导类型外延层的漂移区,设置在所述FS层上且具有的杂质密度低于所述半导体衬底的杂质密度;第二传导类型基极区,设置在所述漂移区的上部中;第一传导类型发射极区,设置在所述第二传导类型基极区的上部中;栅电极,位于栅绝缘层上,其中所述栅绝缘层在所述漂移区、所述第二传导类型基极区、以及所述第一传导类型发射极区的上方;以及第二传导类型集电极区,设置在所述半导体衬底下方。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:李奎炫李世炅尹斗锡姜秀贤崔嵘澈
申请(专利权)人:快捷韩国半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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