一种压阻式三向加速度传感器制造技术

本实用新型专利技术属于电子通信技术领域，特别是指一种加速度传感器，尤其涉及一种压阻式三向加速度传感器。包括带有螺纹孔的底板，所述底板上面设有凹槽，用于内嵌磁钢板，使磁钢板上表面与底板上表面平；同时底板在同一个方向通过螺钉依次与带有通孔的衬板及电路板连接；电路板配合上下端分别设有上质量块和下质量块；电路板上还分别设有竖直设置且相互垂直的传感器芯片一和传感器芯片二；所述的电路板上水平方向还设有传感器芯片三，底板上方设有能够与其形成空腔的盖板。本实用新型专利技术的优点在于：采用的压阻式三向加速度传感器结构，在满足传感器频率从0Hz开始检测的基础上，能保证传感器芯片对于传感器结构的良好的垂直度和平行度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压阻式三向加速度传感器，包括带有螺纹孔的底板，所述底板上面设有凹槽，用于内嵌磁钢板，使磁钢板上表面与底板上表面平；同时底板在同一个方向通过螺钉依次与带有通孔的衬板及电路板连接；电路板配合上下端分别设有上质量块和下质量块；电路板上还分别设有竖直设置且相互垂直的传感器芯片一和传感器芯片二；所述的电路板上水平方向还设有传感器芯片三，底板上方设有能够与其形成空腔的盖板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贺惠农，秦巍，鲁佳，
申请(专利权)人：杭州亿恒科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：