一种抗形变热丝化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术涉及薄膜制备领域，具体地来说为一种抗形变热丝化学气相沉积设备，包括两个立柱，立柱中间设置有升降台，升降台上设置有样品托台，立柱为中空结构，立柱上端具有弧形边缘，多组热丝等间距跨过两立柱通过中空立柱，热丝为螺旋结构；热丝进入中空立柱连接有弹簧。采用中空的立柱结构，在中空的立柱下端给予拉伸力，可防止热丝的下垂。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种抗形变热丝化学气相沉积设备，包括两个立柱，立柱中间设置有升降台，升降台上设置有样品托台，其特征在于，立柱为中空结构，立柱上端具有弧形边缘，多组热丝等间距跨过两立柱通过中空立柱。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘春玲，
申请(专利权)人：潘春玲，
类型：实用新型
国别省市：