MEMS设备前端电荷放大器及相关方法技术

本申请涉及MEMS设备前端电荷放大器及相关方法。除了其他方面以外，本申请讨论了用于前端电荷放大器的装置和方法。在某些示例中，一种用于MEMS设备的前端电荷放大器可包括电荷放大器和反馈电路，该电荷放大器配置成连接到所述MEMS设备并提供所述MEMS设备的检测质量块的感测信息，该反馈电路配置成接收所述感测信息并向所述电荷放大器的输入端提供反馈，其中所述电荷放大器包括传递函数，该传递函数具有在第一频率处的第一极点、在第二频率处的第二极点和在第三频率处的一个零点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种装置，包括：电荷放大器，配置成连接到微机电系统(MEMS)设备并提供该MEMS设备的检测质量块的感测信息；以及反馈电路，配置成接收所述感测信息，并向所述电荷放大器的输入端提供反馈；其中所述电荷放大器包括传递函数，该传递函数具有在第一频率处的第一极点、在第二频率处的第二极点和在第三频率处的一个零点。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约恩·奥普里斯，H·陶，S·李，
申请(专利权)人：快捷半导体苏州有限公司，快捷半导体公司，
类型：发明
国别省市：