【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种改良的笔形海绵固定装置，化学机械研磨设备中设有第二阶段清洁器，该第二阶段清洁器包含用于放置晶圆的平台（7’），以及设置在平台（7’）一侧的机械臂（6’），本固定装置设置在该机械臂（6’）的端部；该固定装置包含固定器（2）、套设在所述固定器（2）底端处的套筒（3），以及套设在所述套筒（3）外壁上的轴套（5）；外接的笔形海绵（1）嵌设在所述套筒（3）的内圈中；其特征在于，所述的套筒（3）、轴套（5）和固定器（2）的侧壁上若干个相对应的位置处设有连通的螺孔；本固定装置还包含对应设置在所述套筒（3）和轴套（5）侧壁上若干螺孔中的一个或若干个螺钉固定装置（4）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：夏金伟，张中连，龚小春，陈滨，杜铭宇，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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