【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体产品生产方法，其特征在于，包括以下步骤：对半导体产品进行生产，并测试；若检测到所述半导体产品存在异常，则对异常进行分析，确定导致异常的设备；发出控制信号自动将所述异常的设备关闭。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邓燕，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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