磁头检查装置和磁头检查方法制造方法及图纸

技术编号:9277319 阅读:112 留言:0更新日期:2013-10-24 23:47
本发明专利技术提供一种能够高效地检查磁头的磁头检查装置和磁头检查方法。本发明专利技术向磁条状态的磁头的连接端子供给励磁用信号,使设置在以预定频率激励的磁力显微镜的悬臂的前端的磁性探针上浮到上述磁头之上,使其与上述磁头的一边平行地以预定的间隔对多条扫描线进行扫描。在上述扫描中检测出表示上述悬臂的激励状态的上述磁头的上述磁场强度,形成上述扫描线的磁场强度的磁场强度曲线。根据上述检测步骤的检测结果,提取产生上述磁头的磁性有效磁道宽度的有效磁场强度特性曲线,根据上述有效磁场强度特性曲线,求出上述磁头的磁性有效磁道宽度。上述扫描在提取出上述有效磁场强度特性曲线后,停止用于求出上述磁头的磁性有效磁道宽度的扫描。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种磁头检查装置,其特征在于,具备:磁力显微镜的悬臂单元,其前端具备磁性探针,以预定频率被激励;探针单元,其向磁条状态的磁头的连接端子供给励磁用信号;扫描控制单元,其使上述磁性探针上浮到上述磁头以上,使其与上述磁头的一边平行地以预定的间隔对多条扫描线进行扫描;检测单元,其在上述扫描过程中检测表示上述悬臂单元的激励状态的上述磁头的磁场强度;磁场强度特性曲线形成单元,其形成上述扫描线的上述磁场强度的磁场强度特性曲线;有效磁场强度特性曲线提取单元,其根据上述检测单元的检测结果,提取产生上述磁头的磁性有效磁道宽度的有效磁场强度特性曲线;上述磁头的检查单元,其根据上述有效磁场强度特性曲线,求出上述磁头的磁性有效磁道宽度;以及扫描停止单元,上述扫描控制单元在提取上述有效磁场强度特性曲线后,停止用于求出上述磁头的磁性有效磁道宽度的扫描。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:川本慎治
申请(专利权)人:株式会社日立高新技术
类型:发明
国别省市:

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